设备型号:DSI-LC608
应用范围:Si、SiC、陶瓷等基板
主要特点:
设备特点:
1、正背切
2、清洗涂胶
3、全自动上下料
4、高速开关光控制
5、自动纠偏
主要参数:
设备描述 | 设备尺寸(L*W*H) | 2300*1480*1780mm |
设备重量 | 3t(不含冷水机) | |
其它描述 | 1、电压:单相220V | |
主要参数 | 加工尺寸 | 4/6寸晶圆片 |
加工速度 | 100~500mm/s | |
加工精度 | ±1.5μm | |
平台参数 | 300*600mm | |
激光器参数 | 50~500KHZ | |
Tact time | 4寸片160*160μm步距为标准: | |
稼动率 | 98% | |
重大故障间隙时间 | 2H≥ | |
良率 | 99% | |
其他参数 | CCD: |
加工效果: