设备型号:DSI-LC608
应用范围:Si、SiC、陶瓷等基板
主要特点:
设备特点:
1、正背切
2、清洗涂胶
3、全自动上下料
4、高速开关光控制
5、自动纠偏
主要参数:
设备描述  | 设备尺寸(L*W*H)  | 2300*1480*1780mm  | 
设备重量  | 3t(不含冷水机)  | |
其它描述  | 1、电压:单相220V  | |
主要参数  | 加工尺寸  | 4/6寸晶圆片  | 
加工速度  | 100~500mm/s  | |
加工精度  | ±1.5μm  | |
平台参数  | 300*600mm  | |
激光器参数  | 50~500KHZ  | |
Tact time  | 4寸片160*160μm步距为标准:  | |
稼动率  | 98%  | |
重大故障间隙时间  | 2H≥  | |
良率  | 99%  | |
其他参数  | CCD:  | 
加工效果:

