全自动高速精密激光钻孔设备（TGV）

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设备型号：DG100-G1201A

应用范围：适用于非强化玻璃的钻孔加工

主要特点：

设备特点：

1、国内率先导入TGV工业量产

2、加工直径最大12’’、厚度≤1mm

3、高性能、高可靠性飞秒激光

4、高性能控制系统，实现高效率高精度加工能力

5、搭载自主研发光学模组，适应多种材料，孔圆度≥95%

6、多种轨迹生成与加工方式，智能化人机交互

主要参数:

主要参数	加工尺寸	≤205*205mm
	加工速度	80-120mm/s
	加工精度	±5μm
	平台参数	400mm*250mm
	激光器参数	20W IR PS
	Tact time	效率：≥650个/S （以间距0.2mm,直径0.05mm计算, 圆孔直径根据产品要求与酸洗工艺相关。）
	稼动率	0.98
	良率	>98%

加工效果：

全自动晶圆激光开槽设备.jpg 全自动晶圆激光开槽设备2.jpg