设备型号：DM100-M0406B
应用范围：适用于将巨量的Micro LED芯片转移到目标基板上，转移过程具有极高的良率和效率
主要特点：
设备特点：
1、转移效果好，巨量转移过程中对芯片无损伤，具备高良率、高效率的特点
2、可实现巨量转移和选择性转移，对Micro LED芯片进行阵列排布
3、可根据AOI/PL设备提供的Mapping图，进行高速准确选择性转移
4、具备高精度对位系统、高精度姿态调节系统，确保Mciro LED转移落点精准
5、全自动化上下料，可根据产品进行自动化定制
主要参数:
| 主要参数 | 上载台兼容尺寸 | 4寸 6寸 8寸 (可定制) |
| 下载台兼容尺寸 | 370*470mm (可定制) | |
| 三色自动上下料 | 支持 | |
| 光斑形貌 | 平顶光 | |
| 光班均匀性 | ≥96% | |
| 最大能量密度 | ≥1500 mJ/cm2 | |
| 对位精度 | < ±1um | |
| Gap调节精度 | ≤1um | |
| Xy运动平台 | 根据产品定制 | |
| 光罩Mask切换 | 全自动切换 |
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