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设备型号:DSI-S-TC9211
应用范围:硅MEMS传感器,压感芯片,麦克风,测温芯片等,RFID,生物芯片,等硅衬底晶圆激光切割
设备咨询
主要特点:
设备特点:
1、特制激光系统
2、优异的切割效果
3、全自动生产
4、高精度视觉系统; 自动对位,自动寻焦;高精密运动平台
5、兼容4/6inch生产
6、SECS GEM标准接口
主要参数:
重复定位精度±0.001mmθ轴重复定位精度±2arcsec
加工效果:
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