设备型号:DSI-S-HDL8820
应用范围:适用于硅、陶瓷、玻璃、砷化镓、磷化铟、各类引线框架/基板类封装体等材料的切割,全系列兼容6-12寸晶圆。
主要特点:
1、外观尺寸追求小型化,占地面积小,切割行程大
2、配备NCS、BBD、漏液检测模块、远程控制模块,智能化、高效化适应客户需求
3、大功率主轴,高速高精度电机,大幅提高生产效率
4、高效的自动对准,自动刀痕识别以及崩边检测功能
5、AOI功能,自动测量关键尺寸;飞拍功能,机台视觉系统高效品检(最高达600mm/s)
6、多种切割模式任意选择,配有数据管理和日志管理系统,随时监控生产状况
7、配备17英寸触屏显示器,呈现更多信息
主要参数:
| 主要参数 | 主轴功率 | 1.5/1.8/2.4kw可选 |
X轴最大返程速度 | 800mm/s | |
X轴直线度 | ±0.001mm/250mm | |
Y轴重复步进精度 | 0.001以内/5mm | |
| Z轴重复精度 | 0.001mm | |
| θ轴重复定位精度 | 0.001deg | |
| θ轴定位精度 | 0.002deg | |
| 视觉系统 | 高倍/低倍/双倍显微镜可选 | |
| 主要功能 | 自动对准,自动对焦,寻边识别,刀痕识别,崩边检测,NCS、BBD、漏液检测 |
加工效果:

