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设备型号：FLEE-G1009A
应用范围：可以实现各种尺寸盲孔、异形孔、圆锥孔制备，在先进封装、显示制造、消费电子、生命科学等领域有巨大的应用潜力。
设备咨询
主要特点：
设备特点：
1、灵活的尺寸兼容性，300mm以下全尺寸兼容
2、采用飞秒激光技术，高效、高品质加工
3、自主研发的加工和控制系统
4、配备高精度的晶圆自动校正系统
5、 全自动无人值守
6、拥有多项自主知识产权及核心技术
7、大族半导体研发的TGV玻璃通孔设备，是国内研发最早，至今稳定用于TGV量产的设备。
主要参数:
孔位置精度
3μm
运行速度
≥800mm/s
孔壁质量
≤100nm (与材料和刻蚀能力相关)
加工效果：
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