主要特点：

设备特点：

1、灵活的尺寸兼容性，300mm以下全尺寸兼容

2、采用飞秒激光技术，高效、高品质加工

3、自主研发的加工和控制系统

4、配备高精度的晶圆自动校正系统

5、全自动无人值守

6、拥有多项自主知识产权及核心技术

主要参数:

加工效果：