设备型号：DSI-S-TC9600
应用范围：应用于音频及视频滤波器，卫星滤波器，移动通信滤波器，无线遥控谐振器，等LT/LN衬底晶圆的改质切割，终端产品服务于手机、对讲机、卫星通信、航空航天等高端通信领域。
主要特点：
设备特点：
1、针对LT/LN材料特性开发出的光源系统，实现高精度的内部改质切割
2、切割速度快，良好的崩边控制能力，兼容正面或背面切割工艺
3、作业无耗材，加工无材料损失
4、全自动作业，兼容4、6英寸晶圆
5、提供系统解决方案，配套裂片、扩片设备
6、SEMI标准，支持SECS-GEM通信
主要参数:
| 主要参数 | 晶圆衬底 | LT/LN衬底 |
晶圆尺寸 | 4英寸、6英寸 | |
晶圆厚度 | 50μm-500μm | |
| 切割速度 | 600mm/s-800mm/s | |
定位精度 | 重复定位精度：±1μ 定位精度：±1μm | |
| 传输系统 | Load port, robot, aligner | |
长x宽x高LxWxH | 2070mm×1420mm×2238mm |
加工效果：
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